近十多年来, 随着科学技术日新月异的改变,对产品的高密度化、细小型化需求更为迫切,同时也对无尘车间净化技术的设计和发展提出了高质量的要求。万级无尘车间在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、等行业非常多见。小编就给大家来说说万级无尘车间有什么不同呢?
万级无尘车间的洁净度等级:要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。
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万级无尘车间参数要求换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次;100≥500次.压差:主车间对相邻房间≥5Pa 平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
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万级无尘车间的净化要求:主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染逐渐排出,来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,拌有回流或涡流,不同等级的净化车间,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。
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