静电是无尘车间内最难控制的,静电可以使半导体器件生产中的废品增多,降低电子设备的可靠性,因此,在半导体器件的生产中,所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。今天,小编分析下对有防静电环境要求的无尘室装饰装修工程,要用以下几种方法避免:
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1、选用合适的材料:
无尘车室装饰装修工程要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料,多种材料共同使用时,应选用在电序列表中位置接近的材料,所有的材料可归入电的导体或电的经色缘体,导体是电流能通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。
2、接地:
接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。
(1)无尘车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。
(2)电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰,可以抑制尘埃的带电吸附。
(3)工艺设备接地。
(4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。
(5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。
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3、中和:
将带电体(静电)周围的空气离子化后,带电的离子在电磁场作用下发生迁移,带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电,静电消除器是一种能产生电子和离子的装置,它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中各,从而消除静电,绝缘材料表面所带的静电荷,空气中的静电中和的办法来消除。
4、湿度控制:
在众多消除静电的方法中,室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除无尘车间静电,通过在环境中保持高的相对湿度,在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层,利用这一薄层来提供导电的通道,使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。
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