在新建或改造的无尘室工程洁净棚建设完成后,空气一般由风扇从FFU的顶部吸入空气,并用主过滤器和高能效过滤器对其进行过滤,过滤后的干净空气以0.45 m / s±20%的均匀速率在整个出风口表面送入无尘洁净室中。形成均匀的层以允许清洁的空气以垂直、单向的方式流动,从而确保工作区域所需的洁净度。
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无尘室工程洁净棚中的气流是影响洁净室洁净度的重要因素,无尘室工程洁净棚设计的气流速度,通常选择在0.25--0.5 m / s的范围内。这种气流速度属于微风区域,很容易被人和机器的移动所干扰。在混乱的情况下,提高风速可以减少这种干扰的影响,并保持洁净度。但是提高风速会增加运行成本。因此如果满足所需的洁净度,则是特别好的设计解决方案途径。请以风速调节实现适当的风速供应气流,以实现经济效益。
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另一方面,无尘室工程洁净棚内保持均匀的气流,也是稳定洁净室的清洁度的重要因素,并且如果不能保持均匀的气流。则意味着风速将不同,尤其是在墙壁上,气流会在墙壁上产生旋涡。实际上实现高度洁净化实际上是非常困难的。为了在垂直层流方向上保持均匀的气流,您需要执行以下操作:(A)打击面的风速须没有差异。(B)地面返回板的吸力表面上的风速须没有差异。如果速度太低或太高(0.2m / s,0.7m / s),都会发生涡旋。在0.5 m / s的速度下,风量是均匀的。当前,普通洁净室中的风速为0.25--0.5m / s。
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