1、ISO-14644,是国际标准，也是我国标准，日本、俄罗斯、欧洲等国均都采用这一标准，美国也将FS209E改为ISO-14644标准。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级
注：①每个测点应至少采样3次.
②本标准不适用于表面悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性.
③根据工艺要求可确定1~2粒径.
④根据要求粒径的粒子最大允许浓度由以下确定(粒径0.1um~5um)Cn=10NX(0.1/D)2.08(PC/m3)
N为等级1~9级中间可以0.1为最小单位递增量。
2、国际标准ISO14644与各国比较表
