半导体工业过滤器
粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。当今，半导体工业（芯片厂）对生产环境空气洁净度要求高，对空气过滤器的要求也苛刻。
衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”，即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较已经过时了。
芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置，即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的I洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。
不论是普通高效过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描测试。厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。
空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。
当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂，它就是活性炭过滤器，
半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”，它也有环境问题。那里经常采用最新的工艺和材料，有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了，稍不小心就会造成严重的化学污染，既有地下水污染，也有空气污染.
