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净化工程空调系统的分类
时间:2009-05-12 13:45来源:未知 作者:admin 点击:次
净化工程空调系统一般可分为集中式和分散式两种类型，集中式净化空调系统是净化空调设备（如加热器、冷却器、加湿器、粗中效过滤器、风机等）集中设置在空调机房内，用风管将
净化工程空调系统一般可分为集中式和分散式两种类型，集中式净化空调系统是净化空调设备（如加热器、冷却器、加湿器、粗中效过滤器、风机等）集中设置在空调机房内，用风管将洁净空气送给各个洁净室。分散式净化空调系统是在一般的空调环境或低级别净化环境中，设置净化设备或净化空调设备，如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等。随着科学技术的发展，尤其是半导体集成电路制造技术的迅猛发展，对生产环境的空气洁净度要求越来越高，现今的超大规模集成电路生产要求控制空气中的0.05um的微粒浓度和分子级污染物，因此洁净室的送风方式发生了很大变化，在半导体芯片工厂或类似生产过程要求高洁净度的洁净厂房中，其净化空调系统采用循环空气方式，其循环方式主要有集中方式、隧道方式、风机过滤单元（FFU）方式和微环境+开放式洁净室方式等。这些送风方式既可满足高洁净度要求，还要以不同程度地降低能量消耗。
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