此项参数的物理意义并不复杂，洁净度较高的无尘室内的气压应高于洁净度较低的无尘室的气压，以便外部的污垢不致侵入。用于危险物品作业的无尘室应视作例外。对于后者。必须采用负压，即工作区的气压应低于周围环境。
标准和规范都对压差提出要求，一般说来，小于5Pa的压差是毫无意义的，因为难以阻止空气回流，压差大于20-25Pa（隔离工艺除外）是不合理的，因为并不能改善无尘室的物性，反而浪费资金。
此外，压差超过25Pa，会使门开关困难，气压过高，会在气流高速通过不同缝隙或其它泄漏处时会产生噪声。
压差值应足够大并要稳定，避免意外的相对气流。
