制订清洁计划时，必须考虑洁净室的等级以及这些洁净室受污染的程度，必须定出清洁日程表，以保证清洁工作有足够的频度，从而使净化工程一旦达到要求的洁净度标准，就能保持得住，对清洁的要求应联系净化工程内处理的产品及工艺的情况一并考虑，这样就可以决定清洁工作是每日、每周还是按其他时间间隔进行。
准备总的清洁计划时，要有下面一些内容：
1、将现存的全部表面分为关键表面，一般表面，其他表面三种 。
2、为获得所希望的洁净度，确定应当使用的最佳清洁方法和最佳表面处理方法。
3、为使各种物体表面保持在所需的洁净度，清洁工作需要的频度。
4、做好清洁日程表。
5、清洁日程表中的哪部分工作由洁净室生产人员进行，哪部分工作由清洁工进行。
6、在定好的计划中，要选择正确的材料，正确的设备，正确的清洁液和正确的表面清洁方法。
7、培训全体人员，包括生产人员和清洁工，使他们达到执行清洁计划特定任务所要求的水平。
8、为所选择的清洁用材料提供充分的存储设施。
9、决定如何监测清洁工作。
10、决定在有问题时应采取什么行动。
11、整理好所有的文件和日程表，便于检查和管理。
